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ULSI热分析中考虑通孔自热效应后的有效热导系数
所属分类：技术论文
上传者：aet
文档大小：2325 K

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文档介绍：研究了ULSI热分析中考虑通孔自热效应后的有效热导系数的理论模型，详细计算了不同的通孔间距、通孔直径、通孔高度以及金属线宽对有效热导系数的影响。结果表明，考虑通孔自热效应后，使有效热导系数的计算更加符合实际情况，为进一步分析USLI的热学模型提供了理论依据。
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