近日，上海威耀实业有限公司（简称“威耀实业”）发生股东重大变更。国产光刻机厂商上海微电子装备（集团）股份有限公司（简称“上海微电子”）原本是威耀实业是100%控股股东，但现在已经全面退出，上海芯上微装科技股份有限公司（简称“芯上微装”）则成了威耀实业的100%控股股东，认缴出资额同样为2.285亿元。

公开资料显示，威耀实业成立于2003年，是一家从事有色金属冶炼和压延加工业为主的企业，此前其为上海电气控股集团成员。2016年1月，上海微电子成为其100%控股股东。

官网显示，芯上微装成立于2025年02月08日，是一家专注于高端半导体装备研发、生产和服务的创新型科技企业。公司致力于为“超越摩尔”赛道的芯片制造、芯片先进封装、三代半导体和新型显示等核心领域提供高精度、高性能、高可靠性的设备解决方案。

公司技术团队约600人，平均年龄33岁，65%为硕士博士学历；拥有上海市劳动模范、上海市优秀技术带头人、上海市青年科技启明星计划、上海市产业菁英领军人才，以及浦东明珠计划人才/工程师等高层次人才十数人。

值得注意的是，2025年8月8日，芯上微装举办了第500台步进光刻机交付仪式。此次发运的“第500台步进光刻机”将交付给盛合晶微半导体（江阴）有限公司。盛合晶微是全球领先的集成电路晶圆级先进封测企业。

2025年11月25日，芯上微装又宣布，公司自主研发的首台350nm步进光刻机（AST6200 ）正式完成出厂调试与验收，启程发往客户现场。芯上微装表示，这标志着我国在高端半导体光刻设备领域再次实现关键突破！这不仅是一次产品的交付，更是国产半导体装备向高端化、自主化迈进的重要里程碑。

那么为什么一家刚刚在2025年2月成立新公司，在几个月之后就完成了第500台步进光刻机的交付呢？业内信息显示，芯上微装似乎是国产光刻厂商上海微电子装备（集团）股份有限公司分拆出来的独立公司，拟募资独立IPO。

根据企查查资料显示，芯上微装注册资本金1.75亿元，拥有股东29位，其中上海张江浩成创业投资有限公司（简称“张江浩成”）持股14.197%，是单一第三大股东。张江浩成是张江高科的全资子公司。