横河PLC FA-M3在扩散炉上的应用。扩散炉工作区间内（800到1000mm)一般需要±01℃（个别要求±0.5℃)。多数情况下只使用外温控制，内温只在数据测试（Profiling）和2-3周一次的矫正时使用。不同晶片及数量的要求内温相对外温设定值由profiling给出。使用内温时，使用串级控制，内温输出作为外温设定值使用。为防止电流过大，会加一些电流限定或限制值斜坡。外温取2热电偶之高值。一般800到1200度内扩散，一次约 12-14小时。 　

　　扩散炉工作区间内（800到1000mm)一般需要±01℃（个别要求±0.5℃)。多数情况下只使用外温控制，内温只在数据测试（Profiling）和2-3周一次的矫正时使用。不同晶片及数量的要求内温相对外温设定值由profiling给出。使用内温时，使用串级控制，内温输出作为外温设定值使用。为防止电流过大，会加一些电流限定或限制值斜坡。外温取2热电偶之高值。一般800到1200度内扩散，一次约12-14小时。

　　控制难点：

　　1：温度精度的保持。＋0.1度需要相当的控制工艺（PID参数）积累。

　　2：程序的自由度。多组目标值数据要存储并自由切换。避免干涉。

　　3：电热丝断线预警；通常使用CT监测电流，配以电压监视。也有使用监视同等条件下的输出变化（比如从60%升高到70%)来判断老化程度给出预警。

　　FA-M3适用模块：

各电热丝温度控制－－－－-F3CU04-1S:

　　☆提供200ms周期，0.1度的高精度控制,温度控制曲线条数不受限制。

　　☆单系统最多144loop温控控制，节省了大量的安装空间，控制更灵活，方便联网扩展。

　　☆各点独立，不必加装隔离栅，减少电热丝间干扰。

　　☆由于是模块式，不再需要PLC与温度调节器间繁琐的通信编程和布线。

　　☆使用专用软件设定PID/测试/监视。不必使用记录仪辅助。多路图彩监视为调试提供了方便。

　　其他－－－－-断线检测和e-RT3智能CPU

　　☆检测加热器电流的下限，断线报警。

　　☆补偿电源电压变动，以防止误报警。

　　☆e-RT实时系统CPU完成主控部和温度控制部处理，代替传统PC，系统更稳定。