随着电子产品的快速发展,作为集成电路产业链的上游,硅片的研发生产成为支撑整个产业链最重要、应用最广泛的基础功能关键环节。目前,国内8英寸硅片需求约为每月70万片,约90%需依靠进口。而近10万片的国产硅片份额中,64%出自宁波的浙江金瑞泓科技股份有限公司的生产车间。

近日,“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项(02专项)实施管理办公室在宁波组织召开02专项正式验收会。金瑞泓科技公司承担的“8英寸硅片研发与产业化及12英寸硅片关键技术研究”项目顺利通过验收。相关专家表示,该项目的顺利验收,标志着我国8英寸半导体硅片的大批量生产得以实现,藉此有望打破国外对8英寸半导体硅片高度垄断的局面,极大地缩小我国与国际半导体硅片行业生产水平间的差距。

据了解,重大专项是为了实现国家目标,通过核心技术突破和资源集成,在一定时限内完成的重大战略产品、关键共性技术和重大工程。《国家中长期科学和技术发展规划纲要(2006-2020)》确定了大型飞机等16个重大专项。这些重大专项是我国到2020年科技发展的重中之重。“极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项”属于专项中的第二项,所以简称为“02专项”。

全面建成8英寸硅片规模化生产线

半导体行业龙头顺利通过专项验收

此次项目验收会的专家组由国家科技重大专项咨询委专家、行业资深技术专家、知识产权专家、财务专家组成等17位专家组成。专家组在听取公司报告、现场测试报告和现场考察等之后,一致认为金瑞泓科技已经建成8英寸硅片的全系列先进生产线,形成月产8英寸硅抛光片12万片,硅外延片5万片能力。目前该项目共申请了国家专利52件,其中35件发明专利获得授权。

企业所生产的8英寸硅片产品目前通过了包括华润上华、华虹宏力、中芯国际及中航微电子等排行国内前十名的主流集成电路制造企业的采购认证与使用,产品质量达到国际先进水平。目前金瑞泓的8寸硅片已占到国产市场份额的64%,占国内市场(含进口硅片)的6.3%。

承担国家科技重大专项(02专项)的金瑞泓科技目前是国内唯一具有硅单晶锭、硅研磨片、硅抛光片、硅外延片完整产业链的半导体企业,是我国半导体硅材料行业的龙头企业,在由中国半导体行业协会在2015年开始举办的中国半导体材料十强企业评选中,连续荣获2015、2016年度第一名。此次专家组一致同意金瑞泓科技承担的02专项项目通过验收,企业负责人表示是业内专家对公司长期以来专注于半导体硅片业务并取得重要技术成就的充分肯定。

打破国外垄断

我国大直径硅片产业化步伐有望加快

“作为集成电路制造业最大宗的关键材料,大尺寸硅片一直依赖进口,严重制约我国集成电路产业竞争力和供应链安全。大尺寸半导体硅片的产业化,是02专项核心任务之一。” 02专项技术总师、中国科学院微电子研究所所长叶甜春如是说。

在验收总结时,叶甜春对金瑞泓科技在02专项实施期间取得的重要技术成就给予了充分肯定,希望企业进一步加大8英寸硅片的市场开发力度,推广相关成果应用,以更加开放包容的姿态把企业做大做强。

金瑞泓科技副总经理吴能云表示,02专项的实施及通过验收,使企业在国内半导体硅片领域的领先地位进一步得到巩固,大幅度加大我国大直径硅片的国产化步伐,打破了国外对8英寸半导体硅片高度垄断的局面。同时,专项成果的应用降低了国内下游企业的生产成本,带动了多晶硅等上游相关行业的发展,从而有力支撑了我国集成电路行业的开展。

“提升我国半导体硅片的整体水平是振兴民族半导体工业、发展现代化信息业的重要环节,02专项的实施及通过验收,使公司更有信心与能力建设以市场为导向、以创新为动力、产、学、研、用一体化的集成电路产业链,为加快推进我国集成电路的自主创新和可持续发展做出更大的贡献。”吴能云说。

上亿元专项资金扶持

铸就8英寸硅片“单项冠军”

金瑞泓的硅片生产线包括拉晶、切割、研磨、抛光、外延等多道工艺,最终的成品硅片需要经过几十道工序。精密的材料对生产环境的要求也非常高,硅片的生产制造过程需要在洁净室内完成。企业的洁净室内要求每立方英尺空气中大于等于0.1微米粒径的灰尘数量不超过10颗,比医院无菌室标准还高出许多。

为应对激烈的国际竞争格局,金瑞泓科技多年来联合浙江大学硅材料国家重点实验室,以及中电13所、55所等高校院所,携力克服困难,致力于高端大尺寸半导体硅片国产化工作。凭借多方的优势整合,终于实现了8英寸半导体硅片的大批量生产。

据了解,金瑞泓科技承担的02专项在研讨、论证、立项过程中,宁波市积极对接国家有关部委,推动项目落地。2010年10月项目立项以来,宁波市和保税区两级地方政府配套经费7423万元按期足额到位,有效推动了项目取得阶段性研究成果和顺利实施,加上国家等额的专项经费扶持,企业获得的专项扶持资金近1.5亿元。

宁波市科技局采取多种形式,对项目的研究进展情况和经费使用情况进行督导检查,并先后在2015年10月、2016年4月、2016年8月指导和帮助金瑞泓科技通过了02专项办组织的现场检查、现场测试和内部验收等工作,为项目顺利通过正式验收奠定了基础。

宁波市相关负责人表示,将进一步加大集成电路产业扶持力度,并成立了首期规模100亿元,按市场化机制运行的宁波市集成电路产业投资基金,在积极引进骨干企业、加速企业培育、强化协同创新、提升专业化服务、优化发展环境等几方面大力培育发展集成电路产业,打造国家级集成电路特色工艺产业基地和专用材料产业基地,规划建成长三角南翼的集成电路产业强市。“宁波市未来将会涌现出更多像金瑞泓科技一样具有较强行业影响力的集成电路企业。”该负责人说。