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台积电150亿抢顶级光刻机 3月启动7nm EUV量产

2019-02-13
关键词: 台积电 EUV光刻机

  台积电将包揽ASML这批EUV光刻机中的18台,加上先前的几台,可以在今年3月份启动7nm EUV的量产

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  目前用于苹果A12/A12X、华为麒麟980、AMD Radeon VII的7nm工艺均由台积电代工,但只是第一代DUV(深紫外)制程。

  由于三星去年就小规模投产了7nm EUV,同时ASML(荷兰阿斯麦)将EUV光刻机的年出货量从18台提升到今年的预计30台,显然促使台积电不得不加快脚步。

  来自产业链的最新消息称,台积电将包揽ASML这批EUV光刻机中的18台,加上先前的几台,可以在今年3月份启动7nm EUV的量产,推动7nm在其2019年晶圆销售中的占比从去年的9%提升到25%。

  不仅如此,台积电还会在今年第二季度启动5nm工艺的风险试产,值得注意的是,5nm的整个代际都将基于EUV工艺部署。

  当然,此前台积电联合CEO魏哲家在投资者会议上给出的时间表示,2019年上半年晚些时候流片5nm,2020年上半年量产。

  按照早先的说法,苹果今秋的A13芯片还会独家交给台积电代工。另外,ASML现款EUV光刻机Twinscan NXE: 3400B(今年会有新型号3400C)报价约1.2亿美元(约合8亿人民币),18台接近150亿元。


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