根据芯思想研究院的数据表明，2018年全球光刻机出货逾600台，较2017年的460台增幅达30%。

2018年ASML、Nikon、Canon三巨头半导体用光刻机出货374台，较2017年的294台增加80台，增长27.21%。

2018年ASML、Nikon、Canon三巨头光刻机总营收118.92亿欧元，较2017年增长25.21%。

从EUV、ArFi、ArF机型的出货来看，全年共出货134台。其中ASML出货120台，占有9成的市场。

ASML

2018年ASML光刻机出货224台，营收达82.76亿欧元，较2017年成长35.74%。其中EUV光刻机营收达18.86亿欧元，较2017年增加7.85亿欧元。

2018年ASML共出货224台光刻机，较2017年198年增加26台，增长13.13%。其中EUV光刻机出货18台，较2017年增加7台；ArFi光刻机出货86台，较2017年增加10台；ArF光刻机出货16台，较2017年增加2台；KrF光刻机出货78台，增加7台；i-line光刻机出货26台，和2017年持平。

2018年单台EUV平均售价1.04亿欧元，较2017年单台平均售价增长4%。而在2018年一季度和第四季的售价更是高达1.16亿欧元。

目前全球知名厂商包括英特尔Intel、三星Samsung、台积电TSMC、SK海力士SK Hynix、联电UMC、格芯GF、中芯国际SMIC、华虹宏力、华力微等等全球一线公司都是ASML的客户。

2018年中国已经进口多台ArFi光刻机，包括长江存储、华力微二期。

Nikon

2018年度（非财年），Nikon光刻机出货106台，营收达20.66亿欧元，较2017年成长25.29%。

2018年度，Nikon半导体用光刻机出货36台，比2017年度增加9台，增长33.33%。其中ArFi光刻机出货5台，较2017年度减少1台；ArF光刻机出货9台，较2017年度增加1台；KrF光刻机出货5台，较2017年度增加3台；i-line光刻机出货17台，较2017年度增加6台。

2018年度，Nikon半导体用光刻机出货36台中，其中全新机台出货19台，翻新机台出货17台。

2018年度，Nikon面板（FPD）用光刻机出货70台。

Canon

2018年Canon光刻机出货183台，营收达15.5亿欧元，较2017年微增1.6%。

2018年Canon半导体用光刻机出货达114台，较2017年增加44台，增长62.85%。但是主要是i-line、KrF两个低端机台出货。

2018年全年面板（FPD）用光刻机出货69台。

其他光刻机公司

上海微电子装备(集团)股份有限光刻机主要用于广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD、MEMS、LED、功率器件等制造领域，2018年出货大概在50-60台之间。

德国SUSS光刻机主要用于半导体集成电路先进封装、MEMS、LED，2018年光刻机收入约1.2亿欧元，较2017年增长约7个百分点。

ASML公司EUV进展

2018年，ASML和IMEC建设联合实验室，目标一是加速EUV技术导入量产；二是实验以0.55 NA取代目前的0.33 NA，具有更高NA的EUV微影系统能将EUV光源投射到较大角度的晶圆，从而提高分辨率，并且实现更小的特征尺寸。

2019年下半年，ASML将推出每小时吞吐量为170片的EUV新机型NXE：3400C；2021年将推出0.55 NA的新机型EXE：5000，可用于2纳米生产。

ASML预估2019年全年将出货30台EUV光刻机，据悉DRAM公司也将于2019年开始采用EUV光刻机制造。