昨日，德州市协同发展督查评议到德州经济技术开发区，察看了山东有研集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目。

该项目被山东省政府列为 2019 年省级重点“头号”项目。

总投资约 80 亿元，分两期建设，项目一期占地 326 亩，建设直拉车间厂房、硅片厂房、动力中心等，搬迁北京现有的 6 英寸、8 英寸硅晶圆、8 英寸单晶硅生产线并扩大产能，形成年产 8 英寸硅片 276 万片、6 英寸硅片 180 万片、12—18 英寸大直径硅单晶 300 吨的生产能力。二期项目建设 12 英寸硅晶圆中试线科研成果产业化基地，年产 360 万片 12 英寸硅片。

据一期项目土建负责人介绍，项目一期 3 个主要车间正在进行二层主体施工和机电预留预埋，目前三个主厂房都有 30%到 40%的二层已经封顶。此外，专用变电站、尚德八路等工程均按计划推进。项目计划 2019 年底主体封顶，2020 年 3 月底完成机电安装和动力设施调试，2020 年 6 月底完成工艺设备调试并试产。

本次项目是由有研科技集团、日本 RST 株式会社控股的有研半导体材料有限公司出资，山东有研半导体材料有限公司建设。有研科技集团是国资委管理的 96 家央企之一和国内有色金属行业规模最大的综合性研究开发机构，在国内唯一掌握 18 英寸硅单晶技术、12 英寸硅片技术，率先实现 8 英寸硅片商业化，12—18 英寸硅单晶产品可满足全球最先进的半导体设备应用要求。

据报道，该项目属于德州东部城区创新组团的龙头项目，更重要的是，目前这个项目规模也是北方最大的半导体材料基地。

此外，专用变电站、尚德八路等工程均按计划推进。项目计划 2019 年底主体封顶，2020 年 3 月底完成机电安装和动力设施调试，2020 年 6 月底完成工艺设备调试并试产。