被列为省级重点“头号”项目,山东有研半导体材料进展如何?
2019-10-25
昨日,德州市协同发展督查评议到德州经济技术开发区,察看了山东有研集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目。
该项目被山东省政府列为 2019 年省级重点“头号”项目。
总投资约 80 亿元,分两期建设,项目一期占地 326 亩,建设直拉车间厂房、硅片厂房、动力中心等,搬迁北京现有的 6 英寸、8 英寸硅晶圆、8 英寸单晶硅生产线并扩大产能,形成年产 8 英寸硅片 276 万片、6 英寸硅片 180 万片、12—18 英寸大直径硅单晶 300 吨的生产能力。二期项目建设 12 英寸硅晶圆中试线科研成果产业化基地,年产 360 万片 12 英寸硅片。
据一期项目土建负责人介绍,项目一期 3 个主要车间正在进行二层主体施工和机电预留预埋,目前三个主厂房都有 30%到 40%的二层已经封顶。此外,专用变电站、尚德八路等工程均按计划推进。项目计划 2019 年底主体封顶,2020 年 3 月底完成机电安装和动力设施调试,2020 年 6 月底完成工艺设备调试并试产。
本次项目是由有研科技集团、日本 RST 株式会社控股的有研半导体材料有限公司出资,山东有研半导体材料有限公司建设。有研科技集团是国资委管理的 96 家央企之一和国内有色金属行业规模最大的综合性研究开发机构,在国内唯一掌握 18 英寸硅单晶技术、12 英寸硅片技术,率先实现 8 英寸硅片商业化,12—18 英寸硅单晶产品可满足全球最先进的半导体设备应用要求。
据报道,该项目属于德州东部城区创新组团的龙头项目,更重要的是,目前这个项目规模也是北方最大的半导体材料基地。
此外,专用变电站、尚德八路等工程均按计划推进。项目计划 2019 年底主体封顶,2020 年 3 月底完成机电安装和动力设施调试,2020 年 6 月底完成工艺设备调试并试产。