随着半导体制程工艺进入7nm及以下节点，EUV光刻机成为最为关键的设备。之前台积电、三星都依赖于ASML的EUV光刻机量产了5nm的芯片，不过目前EUV光刻机主要都还是应用在逻辑芯片的制造上。而现在，存储芯片厂商也开始引入EUV光刻机，推动存储芯片的制程工艺。

　　近日，SK海力士与ASML公司签订了一个超级大单，豪掷4.8万亿韩元（约35.7亿欧元）抢购EUV光刻机。SK海力士在一份监管文件中称，这笔交易是为了实现下一代工艺芯片量产的目标。

　　虽然，ASML及SK海力士都没有透露这么多资金到底购买了多少台EUV光刻机，不过从之前一台EUV光刻机均价1亿欧元的数据来看，SK海力士这次购买的EUV光刻机大约是35台左右。要知道去年全年ASML的EUV光刻机的销量也不过31台。

　　据了解，作为全球第二大内存芯片厂商的SK海力士，这次购买的EUV光刻机主要是用于新一代内存颗粒。对内存来说，它跟CPU逻辑工艺一样面临着需要微缩的问题，EUV光刻机可以减少多重曝光工艺，提供工艺精度，从而可以减少生产时间、降低成本，并提高性能。值得一提的是，此前就有消息称SK海力士今年下半年在利川厂区M16采用EUV光刻机生产第四代（1a nm）DRAM产品。