eFUSE失效分析与可靠性电路设计
2022年电子技术应用第12期
晏 颖 1，曹玉升 1，张 睿 2
1. 上海飞聚微电子有限公司，上海 201316；2. 浙江大学 微纳电子学院，浙江 杭州 310014
摘要： 电编程熔丝（eFUSE）基于电子迁移原理，通过熔断熔丝使其电阻特性发生不可逆改变来实现编程操作。提高可靠性是 eFUSE 系统和电路优化设计的核心目标。从 eFUSE 工作原理以及失效模式分析入手，重点介绍了影响其可靠性的系统原因和主要机理及过程，并在综合常规电路设计基础上，结合考虑各种工作模式下和具体模块中存在的影响可靠性的因素，最后提出了具有针对性的电路设计解决方案。
中图分类号： 文献标志码：A DOI: 10.16157/j.issn.0258-7998.222961
中文引用格式：晏颖，曹玉升，张睿 . eFUSE 失效分析与可靠性电路设计[J]. 电子技术应用，XXXX，XX(XX)：125-130.
英 文 引 用 格 式 ：Yan Ying，Cao Yusheng，Zhang Rui. Failure analysis of eFuse and reliability circuit design[J]. Application of
Electronic Technique，XXXX，XX(XX)：125-130.
中文引用格式：晏颖，曹玉升，张睿 . eFUSE 失效分析与可靠性电路设计[J]. 电子技术应用，XXXX，XX(XX)：125-130.
英 文 引 用 格 式 ：Yan Ying，Cao Yusheng，Zhang Rui. Failure analysis of eFuse and reliability circuit design[J]. Application of
Electronic Technique，XXXX，XX(XX)：125-130.
Failure analysis of eFuse and reliability circuit design
Yan Ying1，Cao Yusheng1，Zhang Rui2
1.Shanghai Feiju Microelectronic Corporation，Shanghai 201316，China；2.School of Micro-Nano Electronics，ZheJiang Univer‐ sity，HangZhou 310014，China
Abstract： Based on the principle of electron migration, eFuse realizes the programming operation by fusing the fuse to change
its resistance characteristics irreversibly. High reliability is the core goal of eFuse system and circuit optimization design. This paper
starts with the working principle and failure mode analysis of eFuse, and then focuses on the system causes and processes affecting
its reliability. Based on the comprehensive conventional circuit design, combined with the factors affecting reliability in
various working modes and specific modules, finally, a set of targeted circuit design solutions are proposed.
Key words : Failure analysis eFuse reliability circuit design
电编程熔丝（eFUSE）基于电子迁移原理，通过熔断熔丝使其电阻特性发生不可逆改变来实现编程操作。提 高可靠性是 eFUSE 系统和电路优化设计的核心目标。从 eFUSE 工作原理以及失效模式分析入手，重点介绍了影响 其可靠性的系统原因和主要机理及过程，并在综合常规电路设计基础上，结合考虑各种工作模式下和具体模块中存 在的影响可靠性的因素，最后提出了具有针对性的电路设计解决方案。
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