《电子技术应用》
您所在的位置:首页 > EDA与制造 > 业界动态 > 曝中芯国际测试首款国产DUV光刻机

曝中芯国际测试首款国产DUV光刻机

可生产5nm
2025-09-18
来源:快科技

9月17日消息,据报道,中芯国际正在测试由上海初创公司宇量昇生产的深紫外线(DUV光刻机,正测试的光刻机采用浸没式技术,类似于ASML所采用的技术。

过去,中芯国际高度依赖从荷兰半导体设备大厂ASML进口的DUV,但是近年来由于美国的出口管制,只能获得较旧设备。

知情人士透露,中芯国际正在测试一台28纳米的DUV设备,并利用多重曝光来生产7纳米芯片。

据透露,中芯国际试用的这类设备也能被推向极限以生产5纳米处理器,但良率会偏低,无法再进一步制造更先进的产品。

报道称,如果能够量产先进的DUV光刻机,这将是中国大陆突破美国芯片出口管制的重大胜利,不仅能减少对西方技术的依赖,还能提升先进AI处理器的产能。

还有分析师表示:“如果测试成功,这将是中国企业的重要一步,未来可在此基础上推进更先进的设备。”


Magazine.Subscription.jpg

本站内容除特别声明的原创文章之外,转载内容只为传递更多信息,并不代表本网站赞同其观点。转载的所有的文章、图片、音/视频文件等资料的版权归版权所有权人所有。本站采用的非本站原创文章及图片等内容无法一一联系确认版权者。如涉及作品内容、版权和其它问题,请及时通过电子邮件或电话通知我们,以便迅速采取适当措施,避免给双方造成不必要的经济损失。联系电话:010-82306118;邮箱:aet@chinaaet.com。