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上海光机所突破8英寸VB法氧化镓单晶制备技术

2025-12-29
来源:快科技

12月29日消息,“上海科技”公众号发文,12月27日,在上海市科委第四代半导体战略前沿专项支持下,中国科学院上海光机所(以下简称“上海光机所”)联合杭州富加镓业科技有限公司(以下简称“富加镓业”),在国际上首次采用垂直布里奇曼法(VB 法)制备出8英寸氧化镓晶体。

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氧化镓是第四代半导体领域代表性材料,因禁带宽度大、击穿场强高,在超高压功率器件领域具有重要应用价值。

上海光机所作为国内较早从事氧化镓晶体研究的单位,在VB法方面,联合富加镓业大力发展提升关键装备制造、高精度模拟仿真、确定性热场设计三大核心技术。

2024年7月在国内首次实现3英寸晶体制备,2024年12月成功制备4英寸晶体,2025年9月在国内首次实现6英寸晶体制备,2025年12月刷新国际VB法制备氧化镓晶体的最大尺寸纪录。

与其他方法相比,VB法在制备氧化镓晶体方面具有多项显著优势,是实现大规模产业化的理想路径:生长过程无需使用铱金,大大降低生长成本;生长过程温度场均匀、温度梯度小,更易实现大尺寸、高质量氧化镓晶体的生长;可生长柱状晶体,有效提升材料制备效率;生长过程稳定,更适合自动、规模化生产。

下一步,上海光机所、富加镓业将会同下游用户加快开展器件端对材料端的应用验证,持续迭代氧化镓材料及器件性能,全力推动氧化镓产业化应用。


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