KLA-TENCOR 推出磁盘驱动器基片和盘片缺陷检查的新技术
2008-09-26
作者:KLA-Tencor公司
kla-tencor" title="kla-tencor">kla-tencor.com/">KLA-Tencor 公司(纳斯达克" title="纳斯达克">纳斯达克股票代码:KLAC)今天针对硬盘驱动器基片" title="基片">基片与盘片高级缺陷检查推出了 Candela 7100 系列。7100 系列建立在备受肯定且已量产化的 Candela 产品线基础上,专为帮助制造商识别与分类诸如凹陷、凸起、微粒及隐藏缺陷等亚微米级关键缺陷而设计,可以提升良率,降低检测的总成本。
KLA-Tencor 成长与新兴市场 (GEM) 集团副总裁 Jeff Donnelly 表示:“Candela 7100 系列是我们光学表面分析技术的一个创新延伸,作为缺陷检测与分类的创纪录工具,深获客户认同。凭借更高的灵敏度和分类能力,7100 系列的一体化解决方案旨在减少对其它工具的依赖性,降低我们客户的成本,并缩短他们获得成果的时间。”
表面积(储存单位)密度的持续增长推动了对更低表面污染水平、更平滑的磁盘表面、对更小缺陷尺寸的更强灵敏度的需求,以及提早在制程中控制特定缺陷类型的重要性。此外,随着磁记录头飞行高度的降低,微小缺陷如今对良率" title="良率">良率的影响也越来越大。Candela 7100 系列拥有业界领先的灵敏度,堪为应对这些业界挑战的理想解决方案。
硬盘驱动器行业要不断满足客户对更高性价比的需求,因此制造商必须要以更快的时间获得成果,采取在统计学上更有效的决策,同时保持成本竞争优势。Candela 7100 降低了对众多非生产工具与方法的依赖性,例如原子力、扫描电子与透射电子显微镜,以及电性测试。目前需要在众多检测工具上进行的分析,现在都可在单独一台机器上以更快的速度和更低的成本完成。
Candela 7100 系列正在接受领先存储技术" title="存储技术">存储技术公司日立环球存储技术公司 (HGST) 的认证。
KLA-Tencor 目前正在接受产品订单。出货计划在十月份开始。
9 月 17-18 日在加州圣克拉拉市县圣克拉拉会展中心举行的 DISKCON USA 2008 展览会上,KLA-Tencor 还将在第 115 号展位展出 Candela 7100 系列,以及为数据存储行业提供的其它良率管理解决方案。
关于 KLA-Tencor:KLA-Tencor 是为半导体制造及相关行业提供良率管理和制程控制解决方案的全球领先企业。该公司总部设在美国加州的米尔皮塔斯,销售及服务网络遍布全球。KLA-Tencor 跻身于标准普尔 500 强公司之一,并在纳斯达克全球精选市场上市交易,其股票代码为 KLAC。有关该公司的更多信息,请访问 http://www.kla-tencor.com。
Candela 7100 技术摘要
此创新技术代表了 KLA-Tencor 对数据存储市场的不断投入,并显示出公司将来向下一代图形化介质需求延伸的进展。Candela 7100 系列的新特性包括:
o 一个新的双波长激光配置,经过优化,可以获得更高的灵敏度、在基于层的功耗模式方面应用设置的更高灵活性,以及更佳的激光输出与稳定性
o 多个独立的散射检测仪,可以提供检测与分类诸如凹陷、凸起、微粒及隐藏缺陷等亚微米级缺陷的能力
o 改善的相位、光谱与磁通道为捕捉瑕疵及反映高级垂直磁记录 (PMR) 表面提供了更高的灵敏度与稳定性