内容简介：设计了一种微电流检测系统，可用于电子束设备皮安量级到纳安量级的微弱电流信号检测。该设计采用跨阻式I/V转换电路结构，综合考虑器件选型、电路级联放大、纯净供电电源、滤波降噪、嵌入式计算、屏蔽与接地等，将皮安级微小电流放大，同时还设计了双量程选择电路，拓展了测量范围至百纳安级，通过MCU微处理器对放大的电信号进行采集及优化处理。实验表明该系统能够实现微弱电流信号的测量，同时可以调整至较大的量程，且测量误差低于0.5%，同时线性度优、响应迅速。