集成化掩模版图纸分析软件开发与性能优化研究
2026-07-30
内容简介:基于Python编程语言设计并实现了一款集成化掩模版图纸分析软件,旨在提升半导体制造中掩模版版图图纸分析的效率,能够实现版图透光率计算、加工效果图预览与保存、尺寸测量等功能。软件支持整版和区域两种分析模式,具备直接计算、重叠图形合并计算、网格划分-合并计算3种图纸透光率计算方案,支持版图加工效果图预览,任意点测量与端点捕捉测量。测试结果表明,该软件在保证透光率计算精度的同时显著缩短了处理时间,为掩模版设计与制造提供了可靠的分析手段。
