位于上海的睿励科学仪器有限公司从成立至今，所生产的产品填补了国家重大产业链中的重要空白。一直以来，睿励有着自己的中国梦，即国家，实干兴邦；睿励，引领创新；员工拥有出彩的人生。

2013年11月13-15日，第11届中国国际半导体博览会暨高峰论坛(简称2013 IC china)将于上海隆重开幕。睿励科学仪器（上海）有限公司将展现独特的风貌。

成立于2005年的睿励科学仪器（上海）有限公司是一家致力于开发、生产、销售集成电路工艺检测设备的公司，公司所生产的产品拥有自主知识产权。“自列入了2005年上海市科教兴市重大产业科技攻关项目起,，睿励就得到了政府和业界的大力支持和高度关注，”睿励科学仪器（上海）有限公司销售经理杨振铭提到。

现阶段，睿励有近百人员工，其中留学生技术和管理团队有16 人（其中9名骨干员工均系90年代或之前在美国获博士学位，在海外长期从事相关工作的国际业界的一流专家。）科研开发团队共有博士20余名，硕士30余名，本科30余名。睿励公司研究生以上学历员工超过总员工人数的60%；此外，公司在韩国和台湾已聘请了应用和市场销售的员工。“公司将通过不断吸收和培养人才，建立和发展业界一流的具有自主创新能力的企业和团队，达到并持续保持在国际及国内相应产业和市场的领先地位，”杨振铭在介绍公司技术人才时讲到。

2005年10月份，睿励入驻金桥园区标准厂房，2008年3 月，公司TFX1000送150mm集成电路生产线建立并投入生产。2009年1月，公司迁入张江高科技园区，2011年5月18日，TFX3000送300mm集成电路生产线建立并投入生产。

TFX3000是睿励科学仪器（上海）有限公司自主创新开发，具有自主知识产权的集成电路生产线300mm硅片全自动光学膜厚测量设备。产品的应用范围包括刻蚀（Etch）、化学气相沉积（CVD）、光刻（Photolithography）和化学机械抛光（CMP）等工艺段的测量。

睿励科学仪器（上海）有限公司致力于科技创新发展，截止到目前，已经积极向国内外申请具自主知识产权的各种类型的专利40余件，其中已经获得专利授权12件，软件著作权登记10件。公司已经获得“中国半导体行业协会会员”、“上海市集成电路行业协会的理事单位”“SEMI会员”“上海张江高新技术产业开发区建设发展突出贡献企业”等荣誉称号，公司自主研发的“实时光学微结构测量系统”被评为“上海市高新技术成果转化项目”。

在2013年3月19 - 21日举办的上海新国际博览中心SEMICON China 2013 展会上，睿励参与展出并发布了最新TFX3000系列产品，在参展期间，上海市副市长周波、国家信息化专家咨询委员会主任曲桂枝、上海市人民政府副秘书长徐逸波、浦东新区副区长刘正义、SEMI中国区总裁陆郝安等来到睿励展位。

2007年8月28-30日，睿励参展“第五届中国国际集成电路产业展览暨高峰论坛”（IC China 2007），这是睿励首次参展IC China。从那时起，睿励就与IC China建立了联系，几乎每届都有睿励的身影。IC China 2012于2012年10月23-25日在上海世博展览馆举行，睿励同样参加展览，当时，国家02专项总体组叶甜春所长和科技重大专项实施管理办公室陈鸣波来到睿励展位参观。

    睿励科学仪器（上海）有限公司最为一家拥有自主知识产权的集成电路工艺检测设备生产、制造企业，一直以来不断引领创新，为填补国家重大产业链空白做出巨大贡献。