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盛美300mm单片清洗设备又获三台订单,挺进国际主流半导体生产线

2015-03-28

    2015年1月,盛美半导体再次获得海力士(SK Hynix)三台8腔体单片清洗机订单,使得该公司目前销售到海力士大生产线上的设备数量累计已达7台。

    盛美半导体的首席执行官王晖谈到:“得到海力士的批量重复订单,标志着盛美半导体的300mm单片清洗机在产品良率提升上有突出表现,机台性能及稳定性等各方面已经能够全面满足国际主流大生产线22nm技术节点的严格要求 。”

    海力 士在生产集成电路过程中,薄膜沉积(Si3N4,Oxide,Carbon..)后、CMP后、Barrier Metal 沉积前、深孔蚀刻后等多个工艺流程都需要进行清洗。上述3台配备了盛美半导体独家专利技术“空间交变相位移兆声波技术”的设备,通过配合适当的化学药液(如SC-1, H2-功能水等),可在微小颗粒(小于65nm)去除,化学氧化层控制以及深孔清洗等工艺表现上优于国际市场上美国, 日本主流设备商的单片清洗机。

    海力士在2011年被韩国的SK集团收购,是世界第二大DRAM(最常见的一种系统内存)制造商,公司规模在整个半导体行业名列第四位。


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