高能束加工中的三束，指的是激光束、电子束和离子束，和目前被广泛应用的激光束相比，离子束则是少有人知。

埃德万斯总经理高云龙

埃德万斯总经理高云龙告诉《电子技术应用》记者：“我们的离子束加工技术采用的是氩，这种惰性气体几乎不和任何材料发生反应。利用这种惰性气体离化加速之后的高能氩离子进行材料表面加工、蚀刻、镀膜，是一种原子级的加工，要远远超出现在常用的激光加工。”

高云龙表示，离子束加工具有非常多的优点。它是目前特种微纳加工中最精密、最微细的加工手段。离子刻蚀线条精度可达纳米精度；离子镀膜则具有致密度高、粘附力好等优点；而离子束抛光被誉为终极抛光，抛光精度可达亚纳米级。此外，离子束加工在高真空中进行，污染少，特别适宜于对易氧化的金属、合金和半导体材料进行加工。离子束加工是靠离子轰击材料表面的原子来实现的，是一种微观作用，所以加工无应力和无变形，适宜于对各种材料和低刚件零件进行加工。

那么离子束加工具有这么多优点为什么却少有人知呢？

“主要是中国离子束加工技术发展初期主要是用于航天、军工等高精尖项目。我们埃德万斯的前身就是一个航天系统的研究所，30多年前我们的创始人就开始进行技术开发、应用，过去大家都是比较重视科研，项目也集中于国家的项目，不太注意离子束加工的商业化。可以说，过去我们实在是太低调了。” 高云龙表示。

记者了解到，正是由于离子束加工具有很多优点，所以它的应用范围也非常广泛。比如针对电子行业来说，随着应用场景的复杂化、终端产品的多样化，硅MEMS传感器应用范围越来越受局限，众多国际知名厂商开始注重新材料、新工艺、新技术的开发，国内外MEMS呈现从“硅”到“非硅”的发展趋势。埃德万斯自主研发的离子束技术应用设备以及多年积累的成熟工艺技术对于非硅MEMS加工制造有着独特的优势。

高云龙介绍说，埃德万斯致力于自主设备研发生产，不断优化设备性能，在核心产品——离子束刻蚀系统和离子束溅射薄膜沉积系统——拥有完全知识产权。目前已经和一些电子企业进行合作，比如高精度薄膜电容、MEMS产品等。

现代社会，酒香也怕巷子深。为了能够让更多的了解离子束加工技术，埃德万斯现在开始有意识通过参加专业的展会来介绍这种“老”技术的新应用。

高云龙表示：“中国电子展是中国最大的专业电子展会之一，这个平台非常好，可以让埃德万斯更多地直接接触最终客户，让更多地的企业了解离子束加工。我们希望通过这个平台找到更多的合作伙伴。”

为了推进离子束加工的进一步发展，埃德万斯正在北京中关村环保科技园建设非硅微纳制造工艺技术中心。工艺技术中心瞄准MEMS、集成电路分立器件、第三代半导体以及新材料开发领域，可对客户提供各种基于新材料、新结构、新工艺的工艺开发与技术转让，芯片的生产、代工，以及人员培训、技术咨询等各方面的综合服务。

此外，埃德万斯还期望通过投融资服务让更多企业接入到离子束加工领域。高云龙表示：“我们对待合作伙伴非常开放，我们希望通过建立一个公共平台投资一些对于离子束加工感兴趣的企业，让更多地的企业加入到这个行业之中，未来也有可能培育出一些上市企业，把整个市场做大。”

过去中国科研院所很多时候有好的技术，却没有好的商业化途径，让很多技术蒙尘。埃德万斯通过改制变为民营企业之后，更具有活力，期望通过新的商业模式带动离子束加工产业实现整体性突破。