《电子技术应用》
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一种准确测量温湿度的光纤Bragg光栅传感器
2020年电子技术应用第6期
巫涛江1，2，3，赵 雅1，2，4，赵 杰1，2，李玉洁1，2，马 利3，赵明富3
1.电梯智能运维重庆市高校工程中心，重庆402260；2.重庆能源职业学院，重庆402260； 3.重庆理工大学，重庆400054；4.重庆第二师范学院，重庆400065
摘要： 为了准确测量电梯轿厢内温湿度变化信息，研制了一种结构简单的光纤Bragg光栅(FBG)温湿度传感器。传感器由光栅长度为20 mm的FBG构成，其中光栅长度为12 mm的区域采用湿腐蚀法腐蚀至7.8 μm，并在其表面涂覆聚酰亚胺湿敏材料，用于响应湿度变化信息；未被腐蚀的8 mm光栅用于响应温度变化信息。实验研究了光纤腐蚀区域和未腐蚀区域对温湿度的响应特性，湿敏膜涂覆厚度对光栅腐蚀区湿度响应特性的影响，湿敏涂覆后光栅腐蚀区对温度的响应特性，以及传感器对变温变湿环境的响应特性。实验结果表明：当湿敏膜厚度为80 μm时，光栅腐蚀区对湿度的响应灵敏度为17.1 pm/(%RH)；未腐蚀区域对温度的响应灵敏度为9.9 pm/℃；变温(30~70 ℃)变湿(20~90%RH)环境测试时，传感器能准确测量温度及湿度。
中图分类号： TN204
文献标识码： A
DOI：10.16157/j.issn.0258-7998.191411
中文引用格式： 巫涛江，赵雅，赵杰，等. 一种准确测量温湿度的光纤Bragg光栅传感器[J].电子技术应用，2020，46(6)：68-72.
英文引用格式： Wu Taojiang，Zhao Ya，Zhao Jie，et al. A fiber Bragg grating sensor for accurate measurement of temperature and humidity[J]. Application of Electronic Technique，2020，46(6)：68-72.
A fiber Bragg grating sensor for accurate measurement of temperature and humidity
Wu Taojiang1，2，3，Zhao Ya1，2，4，Zhao Jie1，2，Li Yujie1，2，VIGAN MAX-MARLEY3，Zhao Mingfu3
1.Elevator Intelligent Operations Engineering Center of Chongqing University，Chongqing 402260，China； 2.Chongqing Energy College，Chongqing 402260，China； 3.Chongqing University of Technology，Chongqing 400054，China； 4.Chongqing University of Education，Chongqing 400065，China
Abstract： To accurately measure the temperature and humidity in the elevator car, a simple fiber Bragg grating(FBG) temperature and humidity sensor was developed. The sensor was composed of FBG with a grating length of 20 mm, where in the region with a grating length of 12 mm was etched to 7.8 μm by wet etching, and a polyimide moisture sensitive material was coated on the etched surface to measure relative humidity. The unetched 8 mm FBG was used to detect temperature. In the experiments, firstly, the response characteristics of the etched and unetched FBGs to the temperature and humidity were studied. Secondly, the influence of the thickness of the polyimide film on the humidity response of the etched FBG was examined. Thirdly, the response of the etched FBG with polyimide coating to temperature was checked. Fourthly, we investigated the response of the sensor that includes etched and unetched FBGs in variable temperature and humidity environment. The experimental results show that when the thickness of the humidity sensitive film was 80 μm, the response sensitivity of the etched FBG to humidity was 17.1 pm/(%RH). The sensitivity of the unetched FBG to temperature was 9.9 pm/℃. The sensor can accurately measure temperature and humidity in the temperature range of 30 to 70 ℃ and in the humidity range of 20~90%RH.
Key words : temperature and humidity；polyimide；fiber Bragg grating；accurate measurement；sensitivity

0 引言

    随着猪链球菌、非典、流脑、口蹄疫、禽流感等传染病的爆发，广大市民越来越注重疾病的防治工作。这些传染疾病可通过空气、接触、飞沫等方式传播。电梯作为一个公共的场合，出现在每个城市的高层建筑物之中，其通风情况直接影响着疾病的传播机率。同时，轿厢内温湿度直接关系到乘坐的舒适性和电子元器件的使用寿命[1]。为使轿厢内温湿度维持在既可有效抑制疾病传播，又可让乘客感到舒适，同时提高器件使用寿命的状态，必须对轿厢内温湿度进行优化检测和控制。然而有效的、精准的过程控制，必须对轿厢内温湿度进行在线实时监测。

    目前用于温度和湿度测量的传感器很多[2-10]，其中光纤温度和湿度传感器具有微结构、抗电磁干扰、远距离传输、使用寿命长、响应速度快、灵敏度高、成本低等优点，已被广泛采用[11-13]。虽然现有光纤温度和湿度传感器具有上述诸多优点，但是已报到的光纤温度和湿度传感器主要为单一参数测量，很少有关于同一光纤传感单元实现温湿度双参数同时测量的文献报道。因此，在现有的光纤温度和光纤湿度传感器基础之上，研制出一种结构简单、高性价比的光纤温湿度传感器，用于电梯轿厢内湿度实时检测十分必要。

    本文为了实现电梯轿厢内温湿度变化信息监测，利用光纤Bragg光栅(FBG)和聚酰亚胺湿敏材料研制了一种结构简单的温湿度传感器，实验研究了光纤对温湿度的响应特性，湿敏薄膜涂覆厚度对传感器的湿度响应灵敏度及湿度响应时间的影响，湿敏材料涂覆后传感器对温度的响应特性，以及变温变湿环境下传感器的响应特性。




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作者信息:

巫涛江1，2，3，赵  雅1，2，4，赵  杰1，2，李玉洁1，2，马  利3，赵明富3

(1.电梯智能运维重庆市高校工程中心，重庆402260；2.重庆能源职业学院，重庆402260；

3.重庆理工大学，重庆400054；4.重庆第二师范学院，重庆400065)

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