紫外飞秒激光主要有两种产生方式：一种是在固体介质中，通过将红外激光或者近红外光经过非线性倍频晶体的方式一次或多次进行频率转换后实现紫外激光的输出，另一种是利用红外激光在气体介质中成丝产生等离子通道实现。

　　研究表明，利用稀有气体中的谐波产生来实现近红外激光脉冲的非线性频率转换是一种有效的产生紫外激光的方法，并且可以将超短脉冲产生技术扩展到深紫外波段，不需要控制紫外光的色散。

　　采用固体介质时因受到传输波长的限制，输出波长多在200nm以上。

　　相较于固体介质，气体介质在紫外波段的透过范围更宽，且拥有更小的色散系数，因此气体介质是产生紫外脉冲的一种较理想的介质。

　　虽然利用气体介质的非线性效应可以产生波长更短的紫外光脉冲，但其转换效率要低于固体介质。