据中国海关数据汇总显示，2023 年，中国大陆用于芯片制造的半导体设备的进口总额达到了接近 400 亿美元，同比增长了 14%，这也是自 2015 年有记录以来的第二大进口额，反应了中国积极发展半导体制造业的努力。

数据显示，中国大陆于 2023 年 12 月从荷兰进口的光刻设备金额高达 11 亿美元，同比增长近 1000%，环比增长也高达 44.2%。

根据之前的数据显示，中国大陆于 2023 年 11 月进口了 42 台光刻设备，总价值高达 8.168 亿美元。其中，有 16 台光刻机是来自荷兰的 ASML，总价值 7.627 亿美元，同比增长了 1050%。

2023 年 10 月中国大陆从荷兰进口的光刻机数量更是高达 21 台，总价值为 6.725 亿美元，相比比 11 月进口的 16 台光刻机的总价值还要低。显然，如果从均价来看，11 月中国从荷兰进口的光刻机均价要比 10 月进口的光刻机高出 46%。

整体来看，在 2023 年四季度，中国大陆从荷兰 ASML 进口的光刻机总额达到了 25.352 亿美元。

根据业界的分析，近几个月来，中国大陆从荷兰 ASML 进口的光刻机数量和进口额的激增，可能是 ASML 赶在其许可证在 2023 年 12 月 31 日失效前匆忙出货的结果。

2023 年 9 月 1 日，荷兰政府此前于 6 月底颁布的有关先进半导体设备的额外出口管制的新条例正式生效。这些新的出口管制条例主要针对的对象为先进的芯片制造技术，包括先进的沉积设备和浸没式光刻系统。

当时 ASML 发言人就表示，尽管荷兰出口限制从 9 月开始生效，但该公司现有的许可证仍能够允许其在 2023 年底前继续将 NXT:2000i 和更先进的 DUV 光刻机运送到中国。" 我们的客户了解出口管制法规，因此他们知道，自 2024 年 1 月 1 日起，我们不太可能获得向中国国内客户运送这些系统的出口许可证。"

Stiftung Neue Verantwortung 科技与地缘政治经理 Jan-Peter Kleinhans 表示，ASML 近几个月出货到中国大陆的设备，多数在 2022 年底或 2023 年初就已取得了许可。他说，ASML 在 2023 年中的前置时间大约 18 个月，意味着 2023 年第四季出货的设备，应该是在 2022 年 Q2 或 Q3 就已下了订单。

值得注意的当地时间 2024 年 1 月 1 日，光刻机大厂 ASML 发布声明称，荷兰政府最近已经部分吊销了 2023 年发货 NXT:2050i 和 NXT:2100i 光刻系统的许可证，影响到了少数中国客户。也就是说，ASML 的部分对中国客户的出口许可证在 2023 年 12 月 31 日到期之前，就已经被荷兰政府吊销了。

不过，随后 ASML 官方对外表示，中国大陆客户预付购买 DUV 光刻机所积压订单基本都已完成交付。