中文引用格式： 顾立波，梁昊. 基于高精度采样和控制系统的扫描电子显微镜高压高稳定电源[J]. 电子技术应用，2024，50(4)：102-108.
英文引用格式： Gu Libo，Liang Hao. High-voltage and high-stable power supply for scanning electron microscope based on high-precision sampling and control system[J]. Application of Electronic Technique，2024，50(4)：102-108.
引言
扫描电子显微镜（Scanning Elecron Microscopy，SEM）作为目前世界上在纳米尺度下观察材料结构的重要工具，自其问世以来，在众多科学领域取得了显著的突破[1]。这一先进仪器的运用已经在多个领域展现出其强大的观测能力和分析潜力。最为引人注目的成果之一是对纳米材料的结构和性质进行了深入的研究，为材料科学的进一步发展做出了卓越贡献。随着对微观世界的进一步探索，科学界对扫描电子显微镜的各项指标提出了更高的要求[2]。为了能够长时间稳定工作，同时获得更高质量的图片和数据，其高压电源的纹波和稳定性需求也进一步提高。
海外SEM高压电源领域在其早期已经积累了相当长时间的研发经验和产品迭代。现今，多家公司已能够提供适用于SEM的低纹波、高稳定性的高压直流电源。Advanced Energy的EG353系列产品[3]为SEM提供35 kV的直流高压，具有纹波小于1.6×10-6、稳定性小于10×10-6、温度系数小于0.000 025 ℃的优异性能。Spellman High Voltage Electronics Corporation专注于高压电源和X射线发生器的制造，其EBM-TEG高压电源适用于热离子扫描电镜的三极电源，拥有2×10-5的纹波和8×10-6/3 min的稳定性，输出电压能达到30 kV。
中国在精密测量仪器领域，如扫描电子显微镜高稳定性高压直流电源，起步较晚，导致该领域的研发水平仍处于初级阶段。北京中科信电子设备有限公司和中国电子科技集团公司第四十八研究所联合研制的用于离子注入机的380 kV直流高压电源显示出0.05%的纹波和0.07%的稳定度[4]。然而，两者的官网上并未公布相关的产品信息，说明该设计可能尚未具备大规模量产的条件。中科院研究生院和中科院电工研究所合作研发的25 kV负高压电源[5]显示出小于0.3%的输出电压纹波和0.5%的稳定度，但并未在官网上找到更多的实验和论文跟进。
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作者信息：
顾立波1，2，梁昊1，2
（1.中国科学技术大学 核探测与核电子学国家重点实验室，安徽 合肥 230026；
2.中国科学技术大学 近代物理系，安徽 合肥 230026）
