我国是全球最大的电子产品生产基地，每年使用大概占全球四分之一的MEMS器件。目前，我国大部分MEMS传感器仍依赖于进口。国内MEMS传感器以中低端为主，大多数MEMS企业规模相对较小，整体技术水平也相对落后。

为了给中国MEMS企业提供更多有针对性的生产制造支持，苏州纳米科技发展有限公司（以下简称苏州纳米科技）在2013年设立了苏州微纳制造分公司（全称：苏州纳米产业技术研究院有限公司微纳制造分公司，以下简称苏州微纳），是国内首家专注于微机电系统（MEMS）的专业研发与代工的平台企业。

对接国内MEMS企业现实需求

中国半导体行业协会MEMS分会副理事长、苏州纳米科技董事长张希军

“苏州微纳是专注于6英寸MEMS专业研发与代工的平台企业，可以开展包括 MEMS研发、模型、制造、IP授权、技术咨询以及部分的测试封装服务。苏州微纳的整体定位是一个中试平台”。 中国半导体行业协会MEMS分会副理事长、苏州纳米科技董事长张希军告诉《电子技术应用》记者。

记者了解到，苏州微纳是苏州纳米科技的全资子公司，可以为MEMS企业提供研发、代工和其他一系列配套服务。

张希军表示：“苏州微纳提供的服务都是针对中国MEMS企业现实需求来定制的。在电子制造产业，IC制造已经实现了流程化，整体上非常成熟，强调标准化、大批量、低成本生产。而MEMS则是多品种、小批量、非标准化生产工艺。这就需要提供生产制造服务的企业为MEMS企业定制更多的服务支持。”

在研发服务上，可以让客户利用苏州微纳的生产设备和成熟的工艺技术提升产品性能及其一致性，缩短从研发到中试、量产的时间,加快产品商业化进程。在生产服务方面，苏州微纳可以利用其完善的质量管控手段持续提升产品良率，给客户提供优质的中试代工服务。并且在无法保证客户足够产能的情况下，给客户提供转出量产的技术支持。

针对不用的MEMS企业，苏州微纳除了可以提供多种工艺加工服务之外，还可以提供超净场地租赁服务、设备租赁服务等。

“苏州微纳提供的服务是非常灵活多样的。我们可以针对不同的MEMS企业提供不同的服务项目组合，最大限度地满足他们的需求。尤其是，苏州微纳还有一个基本原则，就是没有自主MEMS产品，充分保护客户知识产权”。张希军表示。

紧跟MEMS主流工艺

苏州微纳可以提供目前主流的生产工艺支持。目前苏州微纳拥有一条完整的6寸MEMS代工线，可以为各种MEMS传感器提供技术支撑。在生产设备方面，拥有扩散、薄膜、光刻、离子注入、刻蚀、键合、减薄、划片、在线量测及电参数测试等全系列生产制造及检测设备。

在即将召开的2016 IC CHINA半导体博览会上，苏州微纳将展示其在压力传感器、微镜及硅麦克风等产品方面的工程化制造能力。

针对未来MEMS生产工艺的发展，张希军表示：“MEMS产业新工艺、新技术的发展非常快，我们会持续进行关注，确保具备对主流产品、成熟主流工艺的支撑能力，尽可能最多的满足MEMS企业生产制造需求。”

瞄准MEMS市场新热点

针对未来的MEMS产品市场热点，记者了解到无人驾驶技术、无人机技术将是2016年的开发热点。相应地，非制冷红外探测器及红外热像仪、激光雷达等技术将成为热门产品。另外，随着惯性传感器、IMUs、指纹识别、接近光传感器、高度计等传感器等在移动终端设备中的普及，智能手机等移动终端设备急需新的MEMS传感器以增加其设备的功能，实现其商业利益。环境类传感器将是移动终端设备下一个追踪的热点，尤其是气体传感器。

为此，针对热电堆红外探测器，苏州微纳开发了热电堆整合工艺，包括铝和多晶硅接触，晶圆背面深硅刻蚀工艺代替KOH腐蚀，极大地缩小了芯片面积，有利于在智能手机等移动终端设备中集成。同时，晶圆背面深硅刻蚀工艺也可以用在气体传感器和流量传感器，可以支持多个客户应用。

针对非制冷红外探测器，苏州微纳正在开发全套微桥整合工艺，包括薄膜低应力控制技术，牺牲层电连接技术，VOx欧姆接触技术等以及晶圆级封装工艺。预期可以大幅度降低非制冷红外探测器封装成本。