多年以来，2D NAND 一直都是半导体工业光刻（lithography）技术的发展推动力，其印刷尺寸是最小的，而且保持逐年下降。随着 2D NAND 的尺寸缩小到了十几纳米节点（16nm、15nm甚至 14nm），每个单元也变得非常小，使得每个单元中仅有少数几个电子，而串扰问题又使得进一步缩小变得非常困难而且不够经济。

　　随着 2D NAND 的问题越来越多，业界开始着眼于 3D NAND。现在，我们正见证着 3D NAND 的快速增长，3D 位产量正在超过 2D 位产量。在这篇文章中，我们将仔细探究 3D NAND 技术，并会对 3D NAND 和 2D NAND 的成本进行比较。

　　3D NAND 工艺

　　东芝和三星在 3D NAND 上的早期开拓性工作带来了两大主要的互相竞争的 3D NAND 技术。

　　东芝开发了一种叫做 Bit Cost Scalable（BiCS）的工艺。BiCS  工艺采用了一种先栅极方法（gate-first approach），这是通过交替沉积氧化物（SiO）层和多晶硅（pSi）层实现的。然后在这个层堆叠中形成一个通道孔，并填充氧化物-氮化物-氧化物（ONO）和 pSi。然后沉积光刻胶，通过一个连续的蚀刻流程，光刻胶修整并蚀刻出一个阶梯，形成互连。最后再蚀刻出一个槽并填充氧化物。如图 1 所示。

　　图 1：BiCS  工艺

　　三星则开发了一种 Terabit Cell Array Transistor （TCAT）工艺。TCAT 是一种后栅极方法（ gate-last approach），其沉积的是交替的氧化物和氮化物层。然后形成一个穿过这些层的通道并填充 ONO 和 pSi。然后与 BiCS 工艺类似形成阶梯。最后，蚀刻一个穿过这些层的槽并去除其中的氮化物，然后沉积氧化铝（AlO）、氮化钛（TiN）和钨（W）又对其进行回蚀（etch back），最后用坞填充这个槽。如图 2 所示。

　　图 2： TCAT 工艺

　　这两种工艺都能得到电荷陷阱存储单元（charge trap memory cell）。

　　从前面的讨论和图中可以看出，这两种工艺的基本不同在于 BiCS 使用了 pSi 字线的先栅极方法，而 TCAT 则使用 W 字线的后栅极方法。

　　长时间以来，业内都有传言说东芝做不出有效的 BiCS，而东芝的生产部分基本上就是复制的 TCAT 工艺，尽管东芝还是称之为 BiCS。

　　英特尔-美光走了一条类似于 BiCS 的路，只不过他们构建的是浮栅极（floating gates）。

　　资金成本

　　很多人看了下面美光给出的图后都评论说 3D NAND 的资金成本比 2D NAND 高 3 到 5 倍。但这幅图表达的不是这个意思！这幅图想表达的是从 2D NAND 节点转换到 3D NAND 节点的成本是从 2D NAND 节点转换到一个新的 2D NAND 节点的成本的 3 到 5 倍

　　图 3：美光 2D NAND 到 3D NAND 的转换成本

　　2D NAND 是一种光刻主导的工艺，20nm 以下的节点需要多个四重图案步骤。从一个节点移动到下一个节点的推动力主要来自于光刻工具的改进。当升级光刻工具时，通常可以用当前的工具以旧换新获得改进后的工具，从而降低转换成本。

　　而 3D NAND 则是使用的 3D 存储堆栈技术所需的专门工具来进行沉积和蚀刻。光刻技术不是 3D NAND 发展的推动力，在 3D NAND 工艺流程中最多也只有一个双重图案步骤。但是，其流程中却有多个高纵横比蚀刻步骤，其中每个晶片的蚀刻时间高达 30 至 60 分钟！

　　为了进一步探索它，我们来研究一下 2D 和 3D NAND 新建晶圆厂的资金需求。我的公司 IC Knowledge LLC 开发了半导体行业中应用最广泛的成本建模工具。我们的战略成本模型（Strategic Cost Model）可以为 2D 和 3D NAND 工艺给出详细的设备配置需求。在比较新建晶圆厂之前，图 4 给出了基于三星工艺的 2D 和 3D NAND 的转换成本。

　　图 4： 2D NAND 和 3D NAND 的转换成本

　　从图 4 中我们可以看到，在特定的工艺转换上有类似于图 3 的 3 到 5 倍的转换成本。

　　但是，如果我们模拟构建一家新建 2D NAND 晶圆厂的成本与一家新建 3D NAND 晶圆厂的成本，我们则会看到完全不同的景象，3D 的资金成本甚至比 2D 的资金成本还稍微低一点！如图 5 所示。

　　图5：新建晶圆厂成本

　　晶圆成本

　　与资金成本类似，我们相信在晶圆成本上也有些模糊不清的地方。图 6 比较了三星的 Line 12 晶圆厂的 2D 16nm 晶圆成本与三星的西安晶圆厂的 3D 64 层晶圆成本。

　　图 6：升级后设施的 2D NAND 和 3D NAND 晶圆成本对比

　　Line 12 在 2003 年上线，经过了多次升级，使得现在设备配置中关键部分的成本已经达到了最低。而西安晶圆厂则在 2014 年上线，所有设备的成本都还在下降过程中。如果我们将新建的 2D 和 3D NAND 晶圆厂的晶圆成本从不同的图片融合到一起，就得到了图 7.

　　图 7：新建的 2D NAND 和 3D NAND 晶圆厂的晶圆成本

　　位密度

　　用一个 NAND 的位（bit）总数除以管芯尺寸（die size），我们可以计算出 bits/mm? 指标。在今年的 ISSCC 上，三星在 session 11 发表了论文《A 512Gb 3b/cell 64-Stacked WL 3D V-NAND Flash Memory》。根据这篇论文，我们可以比较从 64 层 3D NAND 到 2D NAND 的各种工艺的位密度。下面的表格给出了三星的值（所有器件都是 3  bits/cell）。

　　表 1：三星 NAND 的位密度

　　从表 1 中我们可以看到 3D NAND 的位密度高于 2D NAND，64 层的 3D NAND 更是超过了 16nm 的 2D NAND 的三倍！

　　目前 3D NAND 的产量还不及 2D NAND，因此每个晶圆上优良位的数量还未达到 3D 位密度优势应有的水平。

　　位成本

　　为了计算位成本，我们需要晶圆成本、位密度和产量。如上所述，晶圆成本严重依赖于生产该晶圆的晶圆厂的规格。位密度和产量也因公司不同而各有差异。比如说，英特尔-美光使用的是 CMOS-Under 技术，其中一些次要的 CMOS 构建在存储阵列之下，这能实现比其竞争对手更高的位密度。我们也相信英特尔-美光有相对好的产量。

　　英特尔-美光在它们位于 Lehi Utah 的 Fab 2 工厂开始了它们最早的 3D NAND 生产，这是一个 2007 年的老厂。然后在新加坡的晶圆厂 10N 也承担了部分生产，这是一个 2011 年的厂。直到今年，我们才有望看到英特尔-美光新建的 10X 3D NAND 晶圆厂开始生产。英特尔也在调整其位于中国的 Fab 68 来生产 3D NAND。在它们 2017 年的分析师会议上，美光展示了下面的图 8.

　　图 8：2D NAND 和 3D NAND 的位成本对比

　　从这张图中我们可以看到，相对于 2D-16nm，3D-32 层工艺降低了 30% 的位成本，并有望在 3D-64 层工艺上再进一步降低 30%。我认为这种行业领先的成本降低是源于旧晶圆厂有一些折旧的资产、CMOS-Under 所带来的高位密度和高产量。

　　东芝最近表示 3D-64 层工艺是一个“甜蜜点（sweat spot）”，并且最终将实现比 2D NAND 更低的成本。我认为这是由东芝的未折旧的晶圆厂资源和相对更低的产量这些因素共同决定的。

　　三星还未在成本方面给出任何公开说明，但我相信它们在 3D-48 层的左右大致持平。我已经听说它们的产量非常不错。

　　串堆叠（string stacking）

　　随着存储堆叠的层数越来越多，通道孔长宽比随之攀升，使得该工艺的难度越来越大，也越来越慢。在某个位置将需要串堆叠（string stacking）。在串堆叠中，首先会沉积一些层，这些层被完全加工成存储单元，然后再沉积和加工一个或更多额外的存储堆叠。串堆叠会增加掩模和复杂性，但会使通道孔的形成更快更轻松。

　　据了解，在 64 层工艺上，英特尔-美光使用了 2-stack 阵列，而三星没有使用堆叠。有人猜测东芝将会使用串堆叠，但据我了解还没有得到确认。据信三星希望一直避免串堆叠，直到至少 128 层才会考虑使用。使用 IC Knowledge 的 Strategic Cost Model，我在 96 层上对 TCAT 工艺的 2-stack 方法和单堆叠方法进行了比较，并发现 2-stack 方法会增加大约 14% 的成本，所以关于三星在至少 128 层才会考虑在他们的工艺中使用堆叠的传言是有道理的。

　　总结

　　随着 3D NAND 扩展到 64 层及以上，所有主要制造商的位成本都将低于 2D NAND 的位成本。3D 位产量现在正在超越 2D 位产量，而且随着层数的进一步扩展，3D NAND 应该还能继续将摩尔定律很好地延展和延续到下一个十年。