《电子技术应用》

国内首条8英寸“超越摩尔”研发中试线通线成功

完善产业链生态布局,建设上海全球科创中心功能型平台

电子技术应用 2017/12/1 11:48:00

中国,上海嘉定——2017年12月1日,致力于“超越摩尔”产业发展的创新平台上海微技术工业研究院(以下简称“工研院”)运营的8英寸“超越摩尔” 研发中试线首款传感器产品近日获得验证通过,正式宣告研发中试线通线成功。

当前以智能传感终端、大数据、云计算、人工智能等为代表的信息技术正加速创新,万物互联智能化时代正在到来。其中“超越摩尔”技术以传感器为核心,结合射频、功率、微能源等技术,是未来实现万物互联的基础。作为创新型功能平台,工研院立足国内集成电路研发和产业基地上海,8英寸研发中试线落户嘉定,填补国内这一领域的空白。

研发中试线着重开展表面硅、体硅、3D微纳加工工艺的开发,并根据“超越摩尔”产品和技术特点部署MEMS、硅光子、射频、硅基III-V族、3D集成、MR磁、功率及生物等相关工艺和量测设备,提供全方位的产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务。

“这次的通线成功标志着中国在MEMS及先进传感器的研发和产业化进入一个全新的快速发展的阶段。未来研发中试线将持续发力,在新材料、新工艺、新器件、新系统重点技术领域开展研发,进一步推动“超越摩尔”产业链的完善和物联网创新应用发展。” 上海微技术工研院总裁杨潇表示。

以全球领先的8英寸“超越摩尔”研发中试线为支点,工研院将持续打造集研发、工程、市场、孵化的一体化功能平台,为创新企业及合作伙伴提供全方位的服务和解决方案,建设具有全球影响力的科技创新中心及“超越摩尔”产业群。


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图:上海微技术工研院8英寸 “超越摩尔” 研发中试线

 

关于上海微技术工业研究院(SITRI):上海微技术工业研究院致力于“超越摩尔”技术和物联网应用的创新和产业化。作为全球性的协同创新中心,上海微技术工研院集研发、工程、孵化于一体,为创新企业及合作伙伴提供全方位的服务和解决方案。目前,上海微技术工研院已和国内外众多的产、学、研组织建立了紧密的合作关系,实现创新成果的高效率产业化,加速“超越摩尔”技术和物联网的生态系统建立。


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