美国加利福尼亚州圣巴巴拉市和中国北京，2019年5月6日 — 美国最大的MEMS 技术和平台方案独立提供商IMT公司（Innovative Micro Technology）日前宣布：公司为北京大学微纳电子学研究院的三名（个）优秀学生（团队）颁发了2018年度MEMS专项奖学金，以鼓励他们在MEMS工艺技术研究与开发领域所做的贡献，并激励更多未来之才持续投身MEMS制造工艺技术的创新研究。这是IMT为北京大学微纳电子学研究院颁发的第四届MEMS专项奖学金，也标志着双方开展战略合作已有四年。本年度最终获颁奖学金的是黄东、李君实（团队），朱佳（个人），李婷宇、徐涵、周文博（团队）。

IMT公司积极参与中国半导体生态发展，与众多伙伴开展了广泛而深入的合作。除了为中国领先的器件设计公司代工生产先进的MEMS产品，IMT还与诸多研究机构携手，致力于MEMS制造工艺技术的研发。IMT和北京大学微纳电子学研究院的战略合作始于2015年，作为该合作的一部分，IMT在MEMS研究和开发领域设立了专项奖学金，每年向北京大学的三名（个）学生（团队）提供奖学金。该奖学金计划是首项在中国专门针对MEMS制造工艺技术开发而设立的奖学金。

随着IMT和北京大学微纳电子学研究院的战略合作持续深化，越来越多的学生开始在MEMS工艺技术研究方面投入精力，并参与到MEMS专项奖学金的角逐中来。在对所有申请奖学金的候选人进行大量评估和答辩后，北京大学微纳电子学研究院最终将2018年度奖学金授予了黄东、李君实（团队），朱佳（个人），李婷宇、徐涵、周文博（团队）。这三组IMT奖学金获得者的研究方向分别为用于生物MEMS应用的先进微针阵列电极制造，用于生物传感的三维空腔光学纳米天线的制造，用于液体活检应用的聚一氯对二甲苯（Parylene C）微孔过滤膜的制造和功能化。他们的研究成果在MEMS工艺技术方面取得了突破，并且在MEMS器件制造及应用中具有发展潜力和前景。

MEMS已经作为一种整合技术出现在诸多不同的应用中，例如物联网、无人机、智能手机、可穿戴电子产品、生物领域和机器人等应用，新型的MEMS器件正在被快速地开发并推出。为了不断推动MEMS技术的创新，IMT 和北京大学微纳电子学研究院等领先的研究机构结为合作伙伴并积极开发先进制造工艺技术，以应对众多领域快速发展的需求。

“很高兴又一次代表IMT为北京大学微纳电子学研究院的优秀学生颁发MEMS专项奖学金。双方合作四年以来，我们看到学生们开展的研究越来越深入，创新性也越来越强。这让我们对MEMS产业的前景抱有极大的信心。”IMT 首席执行官Craig Ensley先生表示。“中国是全球半导体产业最重要的市场之一，IMT始终对中国的半导体产业发展保持高度关注，同时我们也期待利用自己全球领先的 MEMS 器件加工技术和产业经验助力中国的MEMS技术创新、产品开发、国际合作迈上一个新的台阶。”

“通过与IMT这样全球领先的MEMS制造服务公司合作，尤其是借助MEMS 专项奖学金计划，我们为青年才俊们开启了一扇大门，有助于扩展他们的视野，并为他们开展新一代MEMS技术的创新研究提供了很好的平台。”北京大学微纳电子学研究院王玮教授表示。“多年来，北京大学微纳电子学研究院一直致力于MEMS新技术、新工艺的研发，以及为行业培养更多的优秀工艺研发人才。希望通过我们与IMT甚至更多机构的共同努力，能够推动MEMS技术在中国乃至全球快速发展并实现在业内的更广泛应用。”

关于IMT（Innovative Micro Technology）

IMT是全球领先的MEMS技术和平台方案提供商，拥有多样化的工艺和客户。IMT成立于2000年，专门生产微机电系统（MEMS）器件。IMT拥有占地130,000平方英尺的生产厂，其中有一间30,000平方英尺、等级为100的无尘室/晶圆厂，是世界上最大、配置最精良的MEMS晶圆厂之一。IMT提供MEMS量产，以及从设计到生产过程的制造服务。IMT服务的企业分布在各个应用领域，包括继电器、医疗诊断、给药、生物医学、微流体、显示屏、惯性导航、光学通信、印刷、夜视仪、红外发射器、电话/DSL切换、射频器件、电源管理、各类传感器及相关领域。IMT将始终与各公司密切合作，共同研发和制造基于MEMS技术的新型产品。

关于北京大学微纳电子学研究院

北京大学微纳电子学研究院（IME/Peking University）是中国顶级的微电子/纳米电子科技研究和教育基地。其特点是拥有一套完整的教学、培训和研究体系，并配有各种先进设施。该研究院的雄厚实力反映在其水平优异、数量充足的教职员工队伍上： 30 位教授、4 位教授级高级工程师、22 位副教授、10 位高级工程师、10 位讲师和工程师。他们中有很多人是公认的微电子学专家，包括举世闻名的科学家王阳元院士和黄如院士。该院还有三个配有先进研究条件的国家级或省部级重点实验室，研究条件与世界上其他著名大学不相上下。该院每年招收本科生约 40 人，硕士生和博士生 50 余人。

北京大学微纳电子学研究院集成微纳系统（MEMS）研究所成立于 1996 年，是微米/纳米加工技术国家级重点实验室的重要组成部分。其包含对硅基微纳加工技术、微纳传感器与执行器和微纳系统集成技术的基础研究和应用研究。近五年来，在顶级会议和期刊（如 IEEE MEMS、Transducers、MicroTAS、Small、Lab Chip、JMEMS和JMM）上发表了 160 余篇高质量研究论文。