| 集成化掩模版图纸分析软件开发与性能优化研究 | |
| 所属分类：技术论文 | |
| 上传者：wwei | |
| 文档大小：2782 K | |
| 标签： Python编程语言 版图分析 透光率计算 | |
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| 文档介绍：基于Python编程语言设计并实现了一款集成化掩模版图纸分析软件，旨在提升半导体制造中掩模版版图图纸分析的效率，能够实现版图透光率计算、加工效果图预览与保存、尺寸测量等功能。软件支持整版和区域两种分析模式，具备直接计算、重叠图形合并计算、网格划分-合并计算3种图纸透光率计算方案，支持版图加工效果图预览，任意点测量与端点捕捉测量。测试结果表明，该软件在保证透光率计算精度的同时显著缩短了处理时间，为掩模版设计与制造提供了可靠的分析手段。 | |
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