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MEMS模块简易教程
所属分类：教程\|讲义
上传者：serena
文档大小：2912 K
标签： MEMS
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文档介绍：COMSOL Multiphysics是全球第一款真正的多物理场耦合分析软件，本教程讲解了基于COMSOL Multiphysics的MEMS建模及应用。
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