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使用最小二乘迭代相移方法测量透明元件
所属分类：技术论文
上传者：aetmagazine
文档大小：1560 K
标签：干涉最小二乘迭代算法相移算法
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文档介绍：为了更精确地测量透明平板前后两个面的面形相位发布，提出了一种基于最小二乘迭代的相移算法。通过一次最小二乘相移算法后，可以得到相应的透明平板面形图，但是由于初始得到的相位值存在误差，因此得到的面形图精度并不会很高。因此需要通过得到的面形图推导出准确的相位值，本算法通过最小二乘发多次迭代的方法，计算出较准确的初始相移值。对该方法进行仿真实验后，可知此算法的测量精度较高且抗噪能力比较好，仿真得到面形图的PV值与RMS值误差值均小于0.006λ。在实际测量结果中，得到测量结果的PV值误差小于0.09λ，RMS误差小于0.02λ。测量到的面形与物体真实面形接近，测量精度较高。
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