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阿斯麦 High-NA EUV光刻机取得重大突破
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ASML 首台新款 EUV 光刻机 Twinscan NXE:3800E 完成安装
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ASML展示最新EUV光刻机内部画面
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德国默克称DSA自组装技术十年内商用
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我国推进硅光子新赛道：无需EUV 光刻机和先进制程
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EUV光刻，日本多路出击
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三星计划投资10万亿韩元用于采购ASML EUV光刻机
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逆天了！清华大学SSMB-EUV光源横空出世，功率是EUV光刻机40倍！
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线边缘粗糙度（LER）如何影响先进节点上半导体的性能
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国产光刻机的突破：告别自嗨，务实为真
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ASML堵了EUV光刻机的路，但国产光刻机有3大新方向
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国产芯片再获新技术，无需EUV光刻机也能实现7纳米
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EUV光刻机3大核心：2大来自德国，1大来自美国，ASML负责组装
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EUV光刻机研发难在哪？ASML：数百家顶级供应商 40年时间
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ASML：可继续向中国销售DUV光刻机
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10台EUV光刻机，456亿，外媒：台积电顶不住了
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这家巨头再拿下10台EUV光刻机！
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三星电子计划明年扩大晶圆代工与DRAM产能，拟新设至少10台EUV
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日本抛橄榄枝：邀请台积电扩建二厂并引入EUV
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采用6nm EUV先进制程，紫光展锐发布T820处理器
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事关EUV光刻技术，中国厂商公布新专利
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ASML新EUV光刻机成本：赶上顶级战机
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ASML新EUV光刻机惊人天价，年产能20台左右
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美国芯片搬起石头砸自己的脚，芯片行业雪崩，将面临更严峻的考验
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张忠谋劝不住，刘德音推动台积电加速靠拢美国
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英特尔预计年底将首次使用EUV的Intel 4工艺量产
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