《电子技术应用》
您所在的位置:首页 > 嵌入式技术 > 业界动态 > 台积电回应Fab14厂生产事故:问题出在光刻胶上,受影响的晶圆将在一季度补回

台积电回应Fab14厂生产事故:问题出在光刻胶上,受影响的晶圆将在一季度补回

2019-01-31
关键词: 台积电 晶圆

微信图片_20190131223023.jpg

继去年8月,台积电三大生产基地因病毒入侵而导致停摆事故之后,1月28日下午台积电南科Fab14厂又被爆出一起安全事故,导致晶圆被不合格化学原料污染,预估损失上万片晶圆。随后,台积电发言人孙又文证实了这一消息。


当晚22点,台积电又发布信息指出,发现一批化学原料有些规格误差的问题,会对良品率产生影响,主因仍在调查,正在与客户沟通细节及处理措施。经过初步估计,此次问题不影响第1季财测。


1月30日,台积电针对媒体近日对台积电Fab14晶圆受到污染一事之揣测报导,正式发布声明称,事故原因是出在了光刻胶上,而损失的晶圆大部分将在今年一季度补回。


正式声明如下:

微信图片_20190131223047.jpg


在2019年1月19日我们发现F14B的12/16纳米的良率出现问题,经追查后了解问题出在一批光刻胶上。此批光刻胶是来自一个与台积电有多年供货经验优良的厂商,但这批光刻胶与过去其供应的光刻胶规格有相当的误差。我们立即停用此批不符规格的光刻胶并马上通知所有受到影响的客户。


在过去十天中我们已与所有受影响的客户密切沟通包含相关补货和交期的细节,以我们目前在12/16纳米的产能利用率观察,台积电预计受影响的晶圆大部分能在2019年第一季补回,若有2019年第一季无法补回的也应能在2019年第二季补回,台积电重申此单一事件当不至于影响2019年第一季财测。