热场发射电子枪在电子束光刻机中的应用研究 | |
所属分类:技术论文 | |
上传者:aetmagazine | |
文档大小:667 K | |
标签: 热场发射电子枪 电子束束流 电子束束斑 | |
所需积分:0分积分不够怎么办? | |
文档介绍:介绍了电子枪的分类与特点,重点介绍了热场发射电子枪的原理、结构、特点及在电子束光刻机中的应用。阐述了电子束光刻机束流与电子枪提取极电流之间关系,并分析了热场发射电子枪各个参数对提取极电流的影响。研究了热场发射电子枪的调校对电子束光刻工艺的影响,并通过实验得出束斑与束流的关系。最后通过调整电子枪参数,制备了不同的光刻图形,满足了不同的光刻工艺要求,验证了分析的结论。 | |
现在下载 | |
VIP会员,AET专家下载不扣分;重复下载不扣分,本人上传资源不扣分。 |
Copyright © 2005-2020 《电子技术应用》版权所有 京ICP备10017138号-2